靶材，也稱(chēng)為濺射靶材，是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。通過(guò)不同的激光（離子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電和阻擋的功能。
從發(fā)展歷程來(lái)看，在國(guó)家相關(guān)政策的支持下，中國(guó)靶材行業(yè)得到了快速發(fā)展，并且國(guó)產(chǎn)化速度也在加快。在20世紀(jì)80年代初，我國(guó)開(kāi)始引入濺射鍍膜技術(shù)，應(yīng)用于相關(guān)玻璃制品中；20世紀(jì)90年代，我國(guó)開(kāi)始研究濺射靶材的國(guó)產(chǎn)化技術(shù)；在21世紀(jì)初，我國(guó)濺射靶材產(chǎn)業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段，行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀企業(yè)增多；在2005年，第一塊國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用濺射靶材在江豐電子的生產(chǎn)線(xiàn)上誕生，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)濺射靶材工藝的空白；在2020年，我國(guó)工程院院士材料學(xué)專(zhuān)家何季麟帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)成功研制出高性能ITO濺射靶材，實(shí)現(xiàn)了高端ITO靶材從0到1的突破；在2020年至今，我國(guó)濺射靶材產(chǎn)業(yè)逐漸成熟，技術(shù)水平不斷提高，產(chǎn)品品質(zhì)得到了廣泛認(rèn)可，逐漸成為全球?yàn)R射靶材產(chǎn)業(yè)的重要力度。
我國(guó)靶材行業(yè)發(fā)展歷程
| 時(shí)間 | 發(fā)展歷程 |
| 20世紀(jì)80年代初 | 中國(guó)開(kāi)始引進(jìn)濺射鍍膜技術(shù)，主要用于建筑玻璃和手表玻璃上。 |
| 20世紀(jì)90年代初 | 中國(guó)開(kāi)始研究開(kāi)發(fā)本土濺射靶材，并在有色金屬冶煉、電子信息、光學(xué)、磁性材料等領(lǐng)域得到應(yīng)用。 |
| 21世紀(jì)初 | 中國(guó)濺射靶材產(chǎn)業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段，涌現(xiàn)出一批優(yōu)秀的企業(yè)，如江豐電子、阿右創(chuàng)﹑隆達(dá)電子等。 |
| 2005年10月 | 第一塊國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體工業(yè)用濺射靶材在江豐電子的生產(chǎn)線(xiàn)上誕生，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)濺射靶材工藝的空白。 |
| 2020年 | 中國(guó)工程院院士材料學(xué)專(zhuān)家何季麟帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)成功研制出高性能ITO濺射靶材，實(shí)現(xiàn)了高端ITO靶材從0到1的突破。團(tuán)隊(duì)研制超高純金屬靶材項(xiàng)目也獲得了國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng),讓中國(guó)芯片擁有高端靶材。 |
| 2020年至今 | 中國(guó)濺射靶材產(chǎn)業(yè)逐漸成熟，技術(shù)水平不斷提高，產(chǎn)品品質(zhì)得到了廣泛認(rèn)可，逐漸成為全球?yàn)R射靶材產(chǎn)業(yè)的重要力度。 |
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從市場(chǎng)規(guī)模來(lái)看，2019-2023年，我國(guó)靶材市場(chǎng)規(guī)模呈增長(zhǎng)走勢(shì)。2023年我國(guó)靶材市場(chǎng)規(guī)模為431億元，同比增長(zhǎng)9.1%；2024年我國(guó)靶材市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)將達(dá)到476億元。
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從行業(yè)壁壘來(lái)看，我國(guó)靶材行業(yè)擁有技術(shù)、客戶(hù)、資金、人才四大壁壘，具體內(nèi)容如下圖：
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政策方面，我國(guó)為進(jìn)一步促進(jìn)靶材行業(yè)的發(fā)展，陸續(xù)發(fā)布了一系列相關(guān)政策，如2024年工業(yè)和信息化部等七部門(mén)發(fā)布的《關(guān)于推動(dòng)未來(lái)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見(jiàn)》提出推動(dòng)有色金屬、化工、無(wú)機(jī)非金厘等先進(jìn)基礎(chǔ)材料升級(jí),發(fā)展高性能碳纖維、先進(jìn)半導(dǎo)體等關(guān)鍵戰(zhàn)略材料，加快超導(dǎo)材料等前沿新材料創(chuàng)新應(yīng)用。
2023-2024年我國(guó)靶材行業(yè)相關(guān)政策
| 發(fā)布時(shí)間 | 部門(mén) | 政策名稱(chēng) | 主要內(nèi)容 |
| 2024年1月 | 工業(yè)和信息化部等七部門(mén) | 關(guān)于推動(dòng)未來(lái)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見(jiàn) | 推動(dòng)有色金屬、化工、無(wú)機(jī)非金厘等先進(jìn)基礎(chǔ)材料升級(jí),發(fā)展高性能碳纖維、先進(jìn)半導(dǎo)體等關(guān)鍵戰(zhàn)略材料，加快超導(dǎo)材料等前沿新材料創(chuàng)新應(yīng)用。 |
| 2023年8月 | 國(guó)務(wù)院 | 河套深港科技創(chuàng)新合作區(qū)深圳園區(qū)發(fā)展規(guī)劃 | 聚焦網(wǎng)絡(luò)與通信、半導(dǎo)體與集成電路等前沿交叉領(lǐng)域，支持深港聯(lián)合國(guó)內(nèi)外高校、科研院所在深圳園區(qū)共建卓越研究中心、前沿交叉研究平臺(tái)、人工智能應(yīng)用示范平臺(tái)、數(shù)字經(jīng)濟(jì)與金融超級(jí)計(jì)算集群、“量子谷”，促進(jìn)粵港澳大灣區(qū)科技資源深度融合。 |
| 2023年8月 | 工業(yè)和信息化部、財(cái)政部 | 電子信息制造業(yè)2023-2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案 | 推動(dòng)電子材料、電子專(zhuān)用設(shè)備和電子則里儀器技術(shù)攻關(guān),研究建立電子材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新公共服務(wù)平臺(tái),發(fā)揮好集成電路材料生產(chǎn)應(yīng)用示范平臺(tái)、國(guó)家新材料測(cè)試評(píng)價(jià)平臺(tái)電子材料行業(yè)中心等公共服務(wù)功能。 |
| 2023年7月 | 國(guó)家發(fā)展改革委等六部門(mén) | 關(guān)于促進(jìn)退役風(fēng)電、光伏設(shè)備循環(huán)利用的指導(dǎo)意見(jiàn) | 重點(diǎn)聚焦風(fēng)機(jī)葉片纖維復(fù)合材料，以及光伏組件中半導(dǎo)體材料、金屬材料、聚合物等，探索兼顧經(jīng)濟(jì)性、環(huán)保性的再生利用先進(jìn)技術(shù)和商業(yè)模式。 |
| 2023年1月 | 工業(yè)和信息化部等六部門(mén) | 關(guān)于推動(dòng)能源電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)意見(jiàn) | 加快功率半導(dǎo)體器件等面向光伏發(fā)電、風(fēng)力發(fā)電、電力傳輸、新能源汽車(chē)、軌道交通推廣。 |
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